表面轮廓测量系统

精密位移传感器

测量工作台

其它产品

由于受到触针针尖半径等的影响，触针式表面轮廓仪横向分辨率受到限制，对于峰峰值很小的表面，触针很难伸到谷底，测得的轮廓失真严重。而且由于接触测量，锋利的针尖会划伤测量表面，同时触针使用一段时间后会产生磨损，都会使测量结果不可靠。因此非接触测量成为表面测量的一个重要方向。

干涉显微镜自上世纪至今一直是非接触测量高等级表面粗糙度的主要仪器。上海光机厂生产的6JA干涉显微镜是国内市场上的主要产品。6JA干涉显微难以满足科技不断发展的需要。不过在它基础上发展起来的垂直扫描干涉显微镜近年来得到广泛的应用。如美国VEECO公司的Wyko NT系列光学轮廓仪，Taylor-Hobson公司的CCI工艺光学轮廓仪等。国内市场几乎被国外公司垄断。

WIVS—1型垂直扫描白光干涉轮廓测量仪在6JA干涉显微镜的基础上改造而成。其主要特点是：

1 保留原显微镜人工读数、评定功能。

2 可通过单幅图像原理，获取二维参数及曲线。

3 垂直扫描由自主设计的反镜式垂直扫描工作台完成，具有粗、精两级，其垂直位移量由衍射光栅干涉计量，工作台具有大量程高精度特征。

4 可以用两种方法测量表面三维参数及图形：

（1）对峰谷高度小于的表面，可采用相移法测量，其分辨率小于1nm

（2）对峰谷高度大于的表面，可采用垂直位移扫描测量，其分辨率约为3nm，最大测量峰谷高度可达40um。

5 可用于0-5mm范围内的尺寸测量。测量分辨率达5nm。

6 由于采用目前使用广泛的6JA干涉显微镜，调试与6JA大部分相同，熟悉6JA干涉显微镜使用的人可方便使用该仪器。

7 与国外同类产品相比，价格低廉，约为同类产品的1/8~1/10.

技术指标

   垂直测量范围   0～50      显微镜数值孔径   0.65
 垂直分辨率  0.5nm      显微镜放大倍数   40倍
 测量区域    0.25 mm    显微镜工作距离   2mm
 光学分辨率  0.5        CCD有效像素　　  752X582
 表面反射率  0.3％～100％
 测量时间    二维：1～5秒
              三维：15～30秒
注： 显微镜为基本配置，若需扩大视场或提高光学分辨率，可配置相应的显微镜，但需特殊订货。

仪器构成
  1、宽带光干涉仪（改进的6JA干涉显微镜）
  2、垂直位移扫描工作台
  3、摄像及图像处理系统
  4、工控机

用途

主要用来测量二、三维表面粗糙度、台阶、沟槽高度和表面轮廓尺寸，适用于工矿企业工程表面粗糙度测量，工程表面的科学研究，以及中高等学校“互换性与测量技术基础” 、“精密测量技术”、“机械制造工艺”等课程的实验

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