用途

主要用来测量二、三维表面粗糙度、台阶、沟槽高度和二、三维表面轮廓尺寸，适用于工矿企业工程表面粗糙度测量，工程表面的科学研究，以及中高等学校“互换性与测量技术基础” 、“精密测量技术”、“机械制造工艺”等课程的实验

技术指标

（1）接触式传感器

    1）可换测针，测针最小半径2um

    2）垂直测量范围：

                   表面粗糙度测量仪：0～2mm

                   表面轮廓量仪：0～4mm 

    3）分辨率0.005µm

（2）测量分辨率：X=0.5um
           Y=0.5um
           Z=0.005um

（3）测量范围：X=0～50mm
         Y=0～50mm
         Z=±3mm

（4）最小步距尺寸：0.2µm

（5）最大测量速度：0.5mm/s

（6）粗糙度测量最大误差：5％

 >>>>>>LPGI型 激光干涉式表面轮廓测量仪的性能分析