表面轮廓测量系统

精密位移传感器

测量工作台

其它产品

该仪器具有LPGI型表面轮廓仪的测量功能，用触针测量表面的粗糙度、波度、形状误差、轮廓尺寸、沟槽、台阶高度及膜厚等。同时仪器具有图像测量功能，通过仪器上的摄像分析系统可测量工件的平面图形尺寸。工件的高度由（z）LPGI大量程高精度位移传感测量，水平尺寸（x、y）由摄像系统及计量型X-Y工作台测量。两个系统构成一种新的三维测量系统。

其特点是：

1 高度方向由触针式位移传感器完成，大大提高了高度测量的精度

2 水平尺寸的测量精度可达0.1um

    仪器特别适合测量电路板，MEMS工件，不但可精确测量沟槽、台阶的高度，同时可精确测量长宽方向的尺寸，大大扩大了仪器的应用范围。

技术指标

LPGI传感器技术指标

  可换测针，测针最小半径2um
  测量范围：X=0～50mm
         Y=0～50mm
         Z=±3mm
  测量分辨率：X=0.5um
           Y=0.5um
           Z=0.005um

DA非接触测量技术指标

  放大倍数：0.5X～15X

  视场：6.4X8.6～0.24X0.32(mmXmm)

LPGI-WIVS型表面轮廓测量仪在一台仪器上同时具有LPGI型和WIVS型表面轮廓测量仪的功能，可用于接触与非接触两种测量方式测量表面轮廓。仪器结构紧凑，功能强大，应用范围广，两种测量方式的资源公用，具有很高的性价比。

技术指标

LPGI传感器技术指标

  可换测针，测针最小半径2um
  测量范围：X=0～50mm
         Y=0～50mm
         Z=±3mm
  测量分辨率：X=0.5um
           Y=0.5um
           Z=0.005um

WIVS传感器技术指标  

   垂直测量范围   0～50   显微镜数值孔径   0.65
 垂直分辨率  0.5nm      显微镜放大倍数   40倍
 测量区域    0.25 mm    显微镜工作距离   2mm
 光学分辨率  0.5        CCD有效像素　　  752X582
 表面反射率  0.3％～100％
 测量时间    二维：1～5秒
              三维：15～30秒
注： 显微镜为基本配置，若需扩大视场或提高光学分辨率，可配置相应的显微镜，但需特殊订货。

用途

主要用来测量二、三维表面粗糙度、台阶、沟槽高度和表面轮廓尺寸，适用于工矿企业工程表面粗糙度测量，工程表面的科学研究，以及中高等学校“互换性与测量技术基础” 、“精密测量技术”、“机械制造工艺”等课程的实验

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华中科技大学机械科学与工程学院仪器系

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