表面轮廓测量系统

精密位移传感器

测量工作台

其它产品

用途

主要用来测量二、三维表面粗糙度、台阶、沟槽高度和表面轮廓尺寸，适用于工矿企业工程表面粗糙度测量，工程表面的科学研究，以及中高等学校“互换性与测量技术基础” 、“精密测量技术”、“机械制造工艺”等课程的实验

主要技术性能指标

1.激光干涉接触式传感器

1）针尖端半径：2µm

2）垂直测量范围：0~5mm 

3）垂直分辨率5nm

2.最大测量范围：LI—3型  50mm×50mm 

               LI—2型  50mm

3.最小步距尺寸：0.2µm

4.最大测量速度：0.5mm/s

5.粗糙度测量最大误差： 5％

6.软件及功能

(1) 全中文软件操作界面，包括：

1）取样长度选择；

2）评定长度选择；

3）取样长度内采样点数选择；

(2) 滤波方式可以选择

1)最小二乘中线（面）方法；

2)多项式法；

3)高斯法；

(3) 评定参数

1）国标GT/T1031-1995所涉及的参数：Ra, Rz, Ry, S, Sm, tp

2）国标GT/T3505-2000（等效于ISO 4287：1997）所涉及的参数：Pt, Pv, Pp, Pz, Pc, Pa, Pg, Psk, Pku, PSm, P△q, Pmr(c), Pδc, Pmr, Rt, Rv, Rp, Rz,Rc, Ra,Rq, Rsk,Rka, Rsm, R△q, R mr(c), Rδc, Rmr, Wt, Wv, Wp, Wz, Wc, Wa, Wq, Wsk, Wka, Wka, Wsm, W△q, Wmr(c), Wδc, Wmr ,Zp,Zv,Zt,Xs

3）最新三维表面形貌评定参数：Sq, Sz, Ssk, Sku, Sds, Str, Sal, Std, Ssg, Ssc, Sdr, Sbi, Sci, Svi（限LI—3型）

(4) 图形显示方式

1）二维图形

2）三维图形（限LI—3型）

主要配置

1)立柱式工作台1台；

2)位移工作台1台（采用松下交流伺服电机驱动系统）；

3)大量程高精度激光干涉位移传感器1套；

4)相关处理电路电气箱一台；

5)工业控制用PC机1台；

6)液晶监视器1台；

7)标准刻线样板1块；

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