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WIS/Stylus型 白光干涉图像/触针表面粗糙度两用测量仪
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| 主要特点 |
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- 人工读数或图像处理读数，系统简单、可靠、价廉，特别适用于教学与生产；
- 非接触测量时，不损坏表面；
- 对于不适合非接触测量表面，可用金刚石触针测量。
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| 技术指标 |
| 非接触测量 |
白光干涉 |
| 测量范围 |
Ra0.01μm～Ra10μm |
| 测量误差 |
10% |
| 显微镜放大倍数 |
4× |
10× |
25× |
40× |
| 数值孔径 |
0.1 |
0.25 |
0.4 |
0.65 |
| 水平分辨率（μm） |
6.71 |
2.7 |
1.7 |
1.03 |
视场（mm）
（CCD 1/2"） |
2×1.5 |
0.6×0.4 |
0.4×0.25 |
0.2×0.1 |
| 接触式测量 |
金刚石触针 |
| 测量范围 |
Ra：0.025μm～3μm
Ry，Rz：0.05μm～6μm |
| 测针半径 |
2μm（标准配置），10μm，0.5mm，1mm（可根据用户需求配置） |
| 水平测量分辨率 |
0.2μm（最小采样间距） |
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| 用途 |
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- 表面粗糙度测量教学；
- 生产与科研中的表面粗糙度、微台阶、沟槽及膜厚等的测量。
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| 构成与配置 |
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- 白光干涉显微镜（自主设计）
- 金刚石触针测头
- CCD摄像系统
- 计算机
- 立柱与花岗石台面
- 1D或2D测量工作台
- 标准刻线样板
注：仪器通常只配置25×显微物镜，若需要其他倍数的显微物镜，在订货时需说明。 |
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