华中科技大学精密仪器研发中心-WIS型白光干涉图像轮廓测量仪

表面轮廓粗糙度测量系统

DI-3型电感金刚石触针表面粗糙度测量仪

LI-3型激光干涉金刚石触针式表面形貌测量仪

WIVS型白光干涉垂直扫描表面形貌测量仪

CFLI-3型测力可控大量程表面轮廓测量仪

MAFM型计量型原子力探针表面粗糙度测量仪

LI/WIVS型激光干涉/白光干涉两用表面形貌测量仪

WIVS/MAFM型白光干涉/原子力探针两用表面形貌测量仪

DI/WIVS型电感/白光干涉两用表面形貌测量仪

MDV/LI型显微图像/激光干涉两用表面形貌测量仪

WIS型白光干涉图像轮廓测量仪

WIS/Stylus型白光干涉图像/触针表面粗糙度两用测量仪

MDV型大面积显微图像测量仪

白光干涉显微镜

WIM型白光干涉显微镜

精密位移传感器

LIDM型小型激光测长仪

测量工作台

2D-Ⅰ型共基面运动X-Y测量工作台

2D-Ⅱ型计量型共基面运动X-Y测量工作台

2D-Ⅲ型长行程二维微纳米驱动工作台

2D-Ⅳ型长行程计量型二维微纳驱动工作台

1D-Ⅰ型一维长行程微纳米驱动工作台

1D-Ⅱ型长行程计量型微纳米驱动工作台

VS-Ⅰ型垂直扫描工作台

其他产品

仪器通用数据采集及控制系统

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WIS型白光干涉图像轮廓测量仪


	文档

	原理

主要特点

人工读数或图像处理读数，系统简单、可靠、价廉，特别适用于教学与生产；
非接触测量，不损坏表面；
可测量表面粗糙度，配以不同的镜头，测量范围较大：Ra0.01um～Ra10um，并可测量微台阶、沟槽的尺寸；
可作为金相显微镜或生物显微镜使用。

技术指标

测量范围	Ra0.01μm～Ra10μm
测量误差	10%
显微镜放大倍数	4×	10×	25×	40×
数值孔径	0.1	0.25	0.4	0.65
水平分辨率（μm）	6.71	2.7	1.7	1.03
视场（mm）（CCD 1/2"）	2×1.5	0.6×0.4	0.4×0.25	0.2×0.1

用途

表面粗糙度测量教学；
生产与科研中表面粗糙度、微台阶、沟槽及膜厚等的非接触测量。

构成与配置

白光干涉显微镜（自主设计）
CCD摄像系统
计算机
立柱与花岗石台面
X—Y调整工作台
双轴倾斜调整工作台
标准刻线样板

注：仪器通常只配置25×显微物镜，若需要其他倍数的显微物镜，在订货时需说明。