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MDV/LI型 显微图像/激光干涉两用表面形貌测量仪
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| 主要特点 |
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- 通过图像测量试件平面X、Y方向结构单元的尺寸，通过触针法测取试件高度方向的尺寸，通过两种测量方法互补，得到试件表面的三维尺寸；
- 可大面积无缝拼接图像，也可通过触针法大面积测量表面的三维形貌。
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| 技术指标 |
| 显微图像测量 |
显微图像测量CCD1/2" |
| 放大倍数 |
2.5× |
4× |
10× |
25× |
40× |
60× |
| 数值孔径 |
0.0 |
0.1 |
0.25 |
0.40 |
0.65 |
0.85 |
| 视场(mm) |
2.5×2 |
2×1.5 |
0.6×0.4 |
0.4×0.25 |
0.2×0.1 |
0.1×0.05 |
| 最大拼接面积 |
30mm×30mm |
| 测量精度 |
1μm |
| 触针接触式测量 |
激光干涉金刚石触针测量 |
| 量程 |
0～5mm |
| 分辨率 |
5nm（全量程） |
| 测针半径 |
2μm |
| 垂直测量范围 |
300mm（立柱行程） |
| 测量工作台行程 |
50mm×50mm |
| 水平测量分辨率 |
0.2μm（最小采样间距） |
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| 用途 |
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- 车、铣、钻、刨、镗、磨，加工金属表面的形貌测量与评定；
- 石材、塑料、纸张、木材等非金属表面的形貌测量与评定；
- 球面、非球面、自由曲面、结构表面的表面形貌测量与评定；
- 台阶、沟槽高度的测量及工件尺寸的比较测量；
- 结构表面、台阶、沟槽等表面的横向尺寸测量。
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| 构成与配置 |
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- 测量显微镜一组（4×，10×，25×，40×，60×）
- 激光干涉式金刚石触针位移传感器
- CCD摄像系统
- X—Y测量工作台
- 立柱与花岗石台面
- 工控机与控制箱
- 标准刻线样板
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| 应用实例 |
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| 标准刻线样板 |
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