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表面轮廓粗糙度测量系统
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MDV型 大面积显微图像测量仪
文档
原理
主要特点
无缝拼接图像；
高精度的测量图像尺寸，精度可达到0.1μm。
技术指标
显微放大倍数
2.5×
4×
10×
25×
40×
60×
数值孔径
0.0
0.1
0.25
0.40
0.65
0.85
视场（mm）CCD1/2"
2.5×2
2×1.5
0.6×0.4
0.4×0.25
0.2×0.1
0.1×0.05
最大拼接面积
30mm×30mm
测量精度
1μm
用途
医学、生物学图像的获取、拼接与测量；
MEMS、结构表面、痕迹等测量；
工程表面线宽、微孔直径、纹理的尺度测量。
构成与配置
测量显微镜一组（4×,10×,25×,40×,60×）
CCD摄像系统
计量型X—Y测量工作台
立柱与花岗石平台
工控机与控制箱
标准刻线样板
