| 首页 > 产品展示 > MAFM型 计量型原子力探针表面粗糙度测量仪 |
MAFM型 计量型原子力探针表面粗糙度测量仪
|
|
| 主要特点 |
| |
- 原子力探针高度方向的变化量由白光干涉条纹计量，具有溯源性。而一般商用的原子力显微镜没有直接的计量系统，需要定标，测量值有误差；
- 原子力探针安装在Z向压电驱动系统上，扩大了Z向的测量范围，可达数十微米；
- 仪器具有纳米级的横向分辨率，当试件的峰峰间距（或谷谷间距）小于微米也能测量，而干涉显微镜和其他共焦显微镜等显微干涉测量则无能为力；
- 可进行二维测量，也可进行三维测量；
- 测量力为原子力，对试件无损伤，可以测量硅片、MEMS光学元件等不允许划伤的表面。
|
| 技术指标 |
| 原子力探针 垂直分辨率 |
1nm |
| 水平分辨率 |
2nm |
| 量程 |
0～10μm |
| X—Y纳米驱动工作台 分辨率 |
2nm |
| 行程 |
100μm×100μm |
|
| 用途 |
| |
- 各种超精研磨件，例如量块、光学元件等；
- 各种超精加工件，例如单点金刚石超精加工零件、镜面磨削零件等；
- 各种抛光加工件，例如生物球关节、各种金相试件等；
- 各种光学、电化学加工件，例如硅晶元、MEMS等。
|
| 构成与配置 |
| |
- 白光干涉显微镜
- CCD
- 垂直纳米驱动系统
- 水平纳米驱动系统
- 原子力探针
- 工控机与控制箱
- 标准样板
|
| 应用实例 |
 |
| 磁盘磁道表面 |
|
 |
| 半导体硅片表面 |
|
|
