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LI-3型 激光干涉金刚石触针式表面形貌测量仪
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| 主要特点 |
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- 采用了激光干涉位移传感器，量程大，分辨率高，本仪器量程可达5mm，全量程的分辨率为5nm；
- 由于传感器具有大量程，高精度的特点，测量时，可在测量的一次过程中得到一综合误差轮廓曲线，即可同时获取表面轮廓的粗糙度、波度及形状误差；
- 仪器可进行三维测量评定，特别适用于曲面、非球面表面三维测量与评定；
- 可方便进行采样间隔、采样长度、采样速度、评定长度的选择；
- 可提供最小二乘法、多项式法、高斯法等滤波方式选择。
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| 技术指标 |
| 位移传感器 |
激光干涉位移传感器 |
| 垂直测量量程 |
0～5mm |
| 垂直测量分辨率 |
5nm（全量程） |
| 测针半径 |
2μm（标准配置），10μm，0.5mm，1mm（可根据用户需求配置） |
| 垂直测量范围 |
300mm（立柱行程） |
| 水平测量面积 |
行程：50mm×50mm |
| 水平测量分辨率 |
0.2μm（最小采样间距） |
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| 用途 |
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- 适用于各种机加工（如车、铣、钻、刨、镗、磨）金属表面粗糙度测量与评定；
- 石材、塑料、纸张、木材等非金属表面的形貌测量与评定；
- 球面、非球面、自由曲面、结构表面等表面形貌的测量与评定；
- 球面、非球面、自由曲面、结构表面等表面形貌的测量与评定；
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| 构成与配置 |
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- X-Y测量工作台(注：测量工作台具有开环与闭环控制两种，一般的测量提供开环测量工作台，对于水平位移要求较高时，可选择装有计量系统的闭环测量工作台。)
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| 应用实例 |
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| 轴承滚道 |
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| 滚动导轨滚道 |
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