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CFLI-3型 测力可控大量程表面轮廓测量仪
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| 主要特点 |
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- 采用大量程、高精度位移传感器，在一个测量行程内，可同时获取轮廓尺寸、形状误差、波度及表面粗糙度。
- 可对高度差较大的曲面轮廓进行三维测量与评定；
- 采用音圈电机控制测量杠杆，使仪器具有如下特有功能：
1. 测量力可控制，根据测量对象设定；
2. 测量力为恒力，不会随测量值的增大而增大；
3. 可切换杠杆转动的方向，在不翻转工件的条件下，可测量上、下表面的轮廓；
4. 可测量内径尺寸；
5. 测针在测量过程结束后，可抬起，避免了测头的磨损与碰撞；
6. 测杆水平移动时，可程序控制测针的起落，特别适用于测量阶梯陡峭的表面。 |
| 技术指标 |
| 位移传感器 |
可控测力激光干涉位移传感器 |
| 垂直测量量程 |
±12.5mm |
| 垂直测量分辨率 |
10nm（全量程） |
| 测杆半径 |
2μm（标准配置），10μm，0.5mm，1mm，可根据用户需求提供。 |
| 垂直测量范围 |
300mm（立柱行程） |
| 水平测量面积 |
行程：50mm×50mm |
| 最小采样间距 |
0.2μm |
| 水平计量分辨率 |
10nm |
注：通常测量工作台提供一维计量系统，用户需二维计量系统时，需另外提出。 |
| 用途 |
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- 平面、球面、非球面、自由曲面、结构表面的轮廓坐标尺寸，形状误差、波度、表面粗糙度的测量与评定；
- 较大高度差的台阶、沟槽、凹坑测量；
- 石料、水泥制品、金刚石刀具等较粗糙表面的形貌测量；
- 垂直、水平采用激光干涉位移传感器，精度高，具有溯源性；
- 提供最小二乘法、多项式法、高斯等多种滤波方式的选择；
- 提供轮廓误差分析软件及误差补偿、校正方法。
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| 构成与配置 |
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- 可控测力激光干涉位移传感器
- 小型激光干涉测长仪
- X—Y测量工作台
- 工件定位工作台
- 立柱及花岗石台面
- 工控机及控制箱
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| 应用实例 |
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| 轴承滚道 |
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| 滚动导轨滚道 |
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