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LID-І型激光干涉纳米微位移测量仪

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1.LPGI-2D型表面测量轮廓仪

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垂直扫描白光干涉式表面轮廓测量仪

1.WIVS-Ⅰ型白光干涉表面轮廓测量仪

（6JA干涉显微镜改造）

2.WIVS-Ⅱ型白光干涉表面轮廓测量仪